技术参数  
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电压  
输入：208-240VAC,20A,50/60Hz,单相(<3200W)  
输出：0-8VAC（可调）zui大电流：400A（可调）  
zui大功率：4000W（包括真空泵）  
真空腔体  
不锈钢腔体：280mmID.x375mmH，腔体内壁做了电抛光处理  
有一个150mm的观察窗口（采用无氧铜密封圈密封）  
一个RF-150法兰，便于放入样品。  
一个KF-40法兰,可与真空泵相连接  
四个CF-35法兰，便于安装真空计、电极和其他用途备用  
真空泵  
（点击图片查看详细资料）  
仪器中包括一台高抽速的涡轮分子泵和前级泵  
前级泵抽速：600L/S  
真空度：5.0x10-6torr（泵开启后40分钟）  
极限真空度：5.0x10-7torr（烘烤温度为60-80℃）  
漏气率：5.0x10-7Pa./S  
蒸发加热源样品台  
5个水冷电极安装在腔体底部，可支持4个钨加热舟  
每个钨舟上面安装有可移动的挡板，所以实验时可以防止各物料之间的污染，样品台安装在真空腔体**部，直径为150mm  
样品台可以旋转和加热，旋转速度0-20rpm，加热zui高温度600℃  
蒸发源与样品台的距离为250mm  
测厚仪  
一个高分辨度的薄膜测厚仪安装在腔体内部  
测量精度为：1.0Å  
循环水冷机  
仪器使用过程中需要通冷却水，为了节约用水，强烈建议使用循环水冷机  
所需水流量>15L/min  
控制单元  
真空、厚度和输入电源控制全部集合在一个控制盒内  
控制单元和真空腔体**立分开，以便于操作  
外形尺寸  
L600mm×W860mm×H1500mm  
净重  
600kg  
质保  
一年质保期，终生维护  
质量认证  
CE认证
本产品信息由中美合资合肥科晶材料技术有限公司整理发布，更多关于高真空蒸发镀膜仪的信息请访问：
http://www.kjmti.com.cn/SonList-1290264.html 
https://www.chem17.com/st152911/product_24000850.html