大口径射频离子源 RFICP 380
上海伯东美国 KRi 大口径射频离子源 RFICP 380, 3层栅极设计, 栅极口径 38cm, 提供离子动能 100-1200eV 宽束离子束, **大离子束流 > 1000mA, 满足 300 mm (12英寸)晶圆应用. 广泛应用于离子束刻蚀机.
KRi 射频离子源 RFICP 380 特性
1. 放电腔 Discharge Chamber, 无需电离灯丝, 通过射频技术提供高密度离子, 工艺时间更长. 2kW & 1.8 MHz, 射频自动匹配
2. 离子源结构模块化设计
3. 离子光学, 自对准技术, 准直光束设计, 自动调节技术保障栅极的使用寿命和可重复的工艺运行
4. 全自动控制器
5. 离子束动能 100-1200eV
6. 栅极口径 38cm, 满足 300 mm (12英寸)晶圆应用
射频离子源 RFICP 380 技术规格:
|
阳极 |
电感耦合等离子体 |
|
**大阳极功率 |
>1kW |
|
**大离子束流 |
> 1000mA |
|
电压范围 |
100-1500V |
|
离子束动能 |
100-1200eV |
|
气体 |
Ar, O2, N2,其他 |
|
流量 |
5-50sccm |
|
压力 |
< 0.5mTorr |
|
离子光学, 自对准 |
OptiBeamTM |
|
离子束栅极 |
38cm Φ |
|
栅极材质 |
钼 |
|
离子束流形状 |
平行,聚焦,散射 |
|
中和器 |
LFN 2000 |
|
高度 |
38.1 cm |
|
直径 |
58.2 cm |
|
锁紧安装法兰 |
12”CF |
射频离子源 RFICP 380 基本尺寸:
上海伯东美国考夫曼 KRI 大口径射频离子源 RFICP 220, RFICP 380 成功应用于 12英寸和 8英寸磁存储器刻蚀机, 8英寸量产型金属刻蚀机中, 实现 8英寸 IC 制造中的 Al, W 刻蚀工艺, 适用于 IC, 微电子,光电子, MEMS 等**域.
作为蚀刻机的核心部件, KRI 射频离子源提供大尺寸, 高能量, 低浓度的离子束, 接受客户定制, 单次工艺时间更长, 满足各种材料刻蚀需求!
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗**生 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯东版权所有, 翻拷必究!