为了使堵片传感器的灵敏度, 分辨率、测量范围小、测量精度等得到提高, 可实现对堵片打开信号的可靠、稳定测量, 满足航天飞行器发动机控制系统信号测试需要, 某堵片传感器制造商采用伯东 KRI 考夫曼射频离子源 RFCIP220 溅射制备堵片传感器薄膜.
伯东 KRI 射频离子源 RFICP220 技术参数:
离子源型号 |
RFICP220 |
Discharge |
RFICP 射频 |
离子束流 |
>800 mA |
离子动能 |
100-1200 V |
栅极直径 |
20 cm Φ |
离子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
流量 |
10-40 sccm |
通气 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 |
< 0.5m Torr |
长度 |
30 cm |
直径 |
41 cm |
中和器 |
LFN 2000 |
* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量
KRI 离子源的**特功能实现了更好的性能, 增强的可靠性和新颖的材料工艺. KRI 离子源已经获得了理想的薄膜和表面特性, 而这些特性在不使用 KRI 离子源技术的情况下是无法实现的.
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伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品**的指定代理商.
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